Agilent ICP-MS技术的应用领域包括：

● 环境样品分析，包括自来水、地表水、地下水、海水以及各种土壤、废弃物等的分析；
● 半导体材料分析
● 玻璃、陶瓷和矿冶等样品分析；
● 地质学研究；
● 生物食品及医药临床研究；
● 核材料分析
● 石油化工样品分析；
● 法医应用与研究；

ICP-MS分析特性： 

● 可快速同时检测周期表上几乎所有元素
● 最低的检出限（低至ppq级）
● 分析效益/成本比佳
● 宽的线性动态范围—可直接检测从ppq到数百ppm浓度
● 谱线简单、干扰小，准确度和精密度好
● 需要样品量很低(ul至ml)，分析速度很快（1～3分钟/样品）
● 检测模式灵活多样

半导体工业常用材料中超痕量污染物分析：
固体：Si;GaAa单晶切片；石英、碳化硅等炉材料；高纯金属电极等

Agilent ICP-MS可直接分析有机样品：
Agilent ICP-MS的高效能、高功率屏蔽矩冷等离子体技术已被用于测定一系列有机样品的ppt级痕量污染元素。
● 对其中一些样品，其他方法无法得到满意的结果，高功率屏蔽矩冷等离子体技术分析方法。
● 强碱性清洗剂——四甲基氢氧化氨(TMAH)等
● 高基体样品——光刻胶、液晶、BPSG、PSG等挥发性极强的清洗剂